CAMTEK 自动光学检验AOI设备 三维集成电路 Camtek灵活平台利用各种技术解决的复杂步骤3 dic发展和生产的需要。 我们完全自动化的2 d和3 d测量和缺陷检测能力覆盖较先进的产业需求解决产业路线图。 该系统包括数据分析工具使过程监控和产量的提高。 功能 •高容量整片肿块2 d和3 d检查和计量 •层厚度测量 •调整层之间 •覆盖测量 •高分辨率CD测量 •表面相关缺陷检查 •TSV CD测量 •通过了检验 •通过揭示/指甲高度和co-planarity测量 •RDL检验和计量 技术 •Camtek*特的白光三角测量传感器 •先进的缺陷检测和计量处理引擎 •高分辨率三维共焦传感器 •光干涉测量技术对3 d 产品 Eagle-AP Eagle-AP提供2 d和3 d检验和计量在同一平台上,同时保持较高的性能和吞吐量水平。 EagleT-AP 为先进的包装设计市场,EagleT-AP提供了2 d和3 d检验和计量在同一平台上,同时保持较高的性能和吞吐量水平。